Tubes pour semi-conducteurs SEMI
Tubes en acier inoxydable d’ultra-haute pureté fabriqués selon les normes SEMI pour l’acheminement de gaz et produits chimiques ultra-purs dans les usines de fabrication de semi-conducteurs.
Spécifié pour préserver le gaz de procédé de toute contamination
Les tubes SEMI sont conçus spécifiquement pour empêcher la contamination des gaz de procédé employés en gravure, en lithographie et dans d’autres procédés critiques des semi-conducteurs. Les normes applicables définissent à la fois l’état des surfaces mouillées et la propreté métallurgique du matériau lui-même.
La nuance principale est le 316L selon SEMI F20, avec EN 1.4432 et EN 1.4435 disponibles lorsqu’une teneur en molybdène plus élevée est nécessaire pour une tenue à la corrosion supérieure. Le carbone est tenu à 0,03 % maximum pour éviter la précipitation de carbures, et le soufre entre 0,005 % et 0,017 % pour la soudabilité.
SEMI F20 définit trois niveaux de pureté : General Purpose pour les utilités standard des semi-conducteurs, High Purity pour la majorité de la distribution de gaz et produits chimiques, et Ultra-High Purity pour les systèmes avancés de distribution chimique.
Surface et matériau, tous deux encadrés
Maîtrise des surfaces mouillées
SEMI F19 définit les critères de finition de surface des tubes et raccords série 300 dans les lignes de procédé de fabrication de plaquettes.
Propreté du matériau
SEMI F20 fixe la propreté métallurgique et la composition pour la distribution chimique UHP.
Vérification de surface
Les méthodes F60 XPS/ESCA, F72 AES et F73 SEM caractérisent et contrôlent l’alésage fini.
Pureté graduée
Trois niveaux de pureté définis permettent à l’usine d’adapter le tube au service sans surspécifier.
| Norme | Titre | Objet |
|---|---|---|
| SEMI F19 | État des surfaces mouillées | Critères de finition de surface des tubes et raccords série 300 dans les lignes de procédé de fabrication de plaquettes |
| SEMI F20 | Spécification de l’acier inoxydable 316L | Propreté métallurgique et composition pour les systèmes de distribution chimique UHP |
| SEMI F60 | Méthode d’essai XPS / ESCA | Essais de caractérisation de surface pour les rapports chrome/fer |
| SEMI F72 | Méthode d’essai AES | Spectroscopie d’électrons Auger pour l’analyse de surface |
| SEMI F73 | Méthode d’essai SEM | Microscopie électronique à balayage pour le contrôle de surface |
Où les tubes SEMI sont utilisés
Ce qu’il faut nous envoyer pour un devis ferme
Plus nous disposons de ces éléments au départ, plus le devis est rapide et moins il faut de clarifications ensuite. Les demandes partielles sont bienvenues — nous vous dirons ce qu’il manque à la spécification.
Envoyer une demandeTubes pour semi-conducteurs SEMI — questions fréquentes
Que couvrent SEMI F19 et F20 ?
F19 définit les critères de finition de surface des surfaces mouillées des tubes et raccords série 300 dans les lignes de procédé de fabrication de plaquettes. F20 définit la propreté métallurgique et la composition pour la distribution chimique UHP.
Pourquoi le carbone est-il limité à 0,03 pour cent ?
Un carbone faible évite la précipitation de carbures et protège la tenue à la corrosion dans la zone affectée thermiquement après soudage.
Quels niveaux de pureté sont disponibles ?
SEMI F20 définit General Purpose pour les utilités standard, High Purity pour la majorité de la distribution de gaz et produits chimiques, et Ultra-High Purity pour la distribution chimique avancée.
Des alternatives à plus forte teneur en molybdène existent-elles ?
Oui. EN 1.4432 et EN 1.4435 offrent une teneur en molybdène plus élevée pour une tenue à la corrosion supérieure lorsque le service l’exige.
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