Rury półprzewodnikowe SEMI
Rury ze stali nierdzewnej ultrawysokiej czystości wytwarzane według norm SEMI do dostarczania ultraczystych gazów i chemikaliów w zakładach produkcji półprzewodników.
Specyfikowane tak, aby gaz procesowy pozostał nieskażony
Rury SEMI projektuje się specjalnie tak, aby zapobiegać zanieczyszczeniu gazów procesowych używanych w trawieniu, litografii i innych krytycznych procesach półprzewodnikowych. Właściwe normy określają zarówno stan powierzchni zwilżanych, jak i czystość metalurgiczną samego materiału.
Podstawowym gatunkiem jest 316L według SEMI F20, z dostępnymi EN 1.4432 i EN 1.4435 tam, gdzie potrzebna jest wyższa zawartość molibdenu dla lepszej odporności na korozję. Węgiel utrzymywany jest na poziomie maksymalnie 0,03 % w celu zapobieżenia wydzielaniu węglików, a siarka między 0,005 % a 0,017 % dla spawalności.
SEMI F20 określa trzy klasy czystości: General Purpose dla standardowych mediów technicznych, High Purity dla większości dystrybucji gazów i chemikaliów oraz Ultra-High Purity dla zaawansowanych układów dystrybucji chemikaliów.
Powierzchnia i materiał, oba uregulowane
Kontrola powierzchni zwilżanych
SEMI F19 określa kryteria wykończenia powierzchni rur i złączek serii 300 w liniach procesowych fabryk płytek krzemowych.
Czystość materiału
SEMI F20 ustala czystość metalurgiczną i skład dla dystrybucji chemikaliów UHP.
Weryfikacja powierzchni
Metody F60 XPS/ESCA, F72 AES i F73 SEM charakteryzują i kontrolują gotowy otwór.
Stopniowana czystość
Trzy zdefiniowane poziomy czystości pozwalają fabryce dopasować rurę do zadania bez przespecyfikowania.
| Norma | Tytuł | Cel |
|---|---|---|
| SEMI F19 | Stan powierzchni zwilżanych | Kryteria wykończenia powierzchni rur i złączek serii 300 w liniach procesowych fabryk płytek krzemowych |
| SEMI F20 | Specyfikacja stali nierdzewnej 316L | Czystość metalurgiczna i skład dla układów dystrybucji chemikaliów UHP |
| SEMI F60 | Metoda badawcza XPS / ESCA | Badania charakterystyki powierzchni pod kątem stosunku chromu do żelaza |
| SEMI F72 | Metoda badawcza AES | Spektroskopia elektronów Augera do analizy powierzchni |
| SEMI F73 | Metoda badawcza SEM | Skaningowa mikroskopia elektronowa do kontroli powierzchni |
Gdzie stosuje się rury SEMI
Co przesłać, aby otrzymać wiążącą ofertę
Im więcej z tych danych otrzymamy na początku, tym szybsza wycena i mniej późniejszych uzgodnień. Zapytania częściowe są jak najbardziej mile widziane — wskażemy, czego jeszcze wymaga specyfikacja.
Wyślij zapytanieRury półprzewodnikowe SEMI — częste pytania
Co obejmują SEMI F19 i F20?
F19 określa kryteria wykończenia powierzchni zwilżanych rur i złączek serii 300 w liniach procesowych fabryk płytek krzemowych. F20 określa czystość metalurgiczną i skład dla dystrybucji chemikaliów UHP.
Dlaczego węgiel jest ograniczony do 0,03 procent?
Niska zawartość węgla zapobiega wydzielaniu węglików, chroniąc odporność na korozję w strefie wpływu ciepła po spawaniu.
Jakie klasy czystości są dostępne?
SEMI F20 określa General Purpose dla standardowych mediów, High Purity dla większości dystrybucji gazów i chemikaliów oraz Ultra-High Purity dla zaawansowanej dystrybucji chemikaliów.
Czy dostępne są warianty o wyższej zawartości molibdenu?
Tak. EN 1.4432 i EN 1.4435 oferują wyższą zawartość molibdenu dla lepszej odporności na korozję tam, gdzie wymagają tego warunki pracy.
Zapytaj o rury półprzewodnikowe SEMI
Podaj gatunek, śr. zew., ściankę, długość, normę i wykończenie, aby otrzymać wiążącą ofertę.