Tubos para semiconductores SEMI
Tubos de acero inoxidable de ultra alta pureza fabricados según las normas SEMI para el suministro de gases y productos químicos ultrapuros en plantas de fabricación de semiconductores.
Especificado para mantener el gas de proceso sin contaminar
Los tubos SEMI se diseñan específicamente para evitar la contaminación de los gases de proceso empleados en grabado, litografía y otros procesos críticos de semiconductores. Las normas aplicables definen tanto la condición de las superficies en contacto como la limpieza metalúrgica del propio material.
El grado principal es 316L según SEMI F20, con EN 1.4432 y EN 1.4435 disponibles donde se necesita mayor contenido de molibdeno para una resistencia a la corrosión superior. El carbono se mantiene en 0,03 % máximo para evitar la precipitación de carburos, y el azufre entre 0,005 % y 0,017 % para la soldabilidad.
SEMI F20 define tres grados de pureza: General Purpose para servicios auxiliares estándar de semiconductores, High Purity para la mayoría de la distribución de gases y productos químicos, y Ultra-High Purity para sistemas avanzados de distribución química.
Superficie y material, ambos regulados
Control de superficies en contacto
SEMI F19 define los criterios de acabado superficial para tubos y racores de la serie 300 en líneas de proceso de fábricas de obleas.
Limpieza del material
SEMI F20 fija la limpieza metalúrgica y la composición para la distribución química UHP.
Verificación de superficie
Los métodos F60 XPS/ESCA, F72 AES y F73 SEM caracterizan e inspeccionan el interior acabado.
Pureza graduada
Tres niveles de pureza definidos permiten a la fábrica ajustar el tubo al servicio sin sobreespecificar.
| Norma | Título | Finalidad |
|---|---|---|
| SEMI F19 | Condición de las superficies en contacto | Criterios de acabado superficial para tubos y racores de la serie 300 en líneas de proceso de fábricas de obleas |
| SEMI F20 | Especificación del acero inoxidable 316L | Limpieza metalúrgica y composición para sistemas de distribución química UHP |
| SEMI F60 | Método de ensayo XPS / ESCA | Ensayos de caracterización superficial para relaciones cromo-hierro |
| SEMI F72 | Método de ensayo AES | Espectroscopia de electrones Auger para análisis de superficie |
| SEMI F73 | Método de ensayo SEM | Microscopía electrónica de barrido para inspección de superficie |
Dónde se usan los tubos SEMI
Qué enviarnos para un presupuesto firme
Cuantos más de estos datos tengamos al principio, más rápido será el presupuesto y menos aclaraciones habrá después. Las consultas parciales son bienvenidas: le indicaremos qué más necesita la especificación.
Enviar consultaTubos para semiconductores SEMI — preguntas frecuentes
¿Qué cubren SEMI F19 y F20?
F19 define los criterios de acabado superficial de las superficies en contacto de tubos y racores de la serie 300 en líneas de proceso de fábricas de obleas. F20 define la limpieza metalúrgica y la composición para la distribución química UHP.
¿Por qué se limita el carbono al 0,03 por ciento?
Un carbono bajo evita la precipitación de carburos, protegiendo la resistencia a la corrosión en la zona afectada térmicamente tras la soldadura.
¿Qué grados de pureza están disponibles?
SEMI F20 define General Purpose para servicios estándar, High Purity para la mayoría de la distribución de gases y productos químicos, y Ultra-High Purity para la distribución química avanzada.
¿Hay alternativas con mayor molibdeno?
Sí. EN 1.4432 y EN 1.4435 ofrecen mayor contenido de molibdeno para una resistencia a la corrosión superior cuando el servicio lo exige.
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